度减慢,以及潮湿环境的混乱。——”
这时候赵长安手里面拿的一份文件,就是在这次全球spie微光刻会议上,各个专家级权威的发言。
其中他看了林博士的发言的时间最长,对于别的专家的发言,基本上都是快速的浏览。
对于赵长安前一世这个会议上林博士的发言,赵长安没有看到过,因为那个时候他怎么可能对这种枯燥的技术发言感兴趣。
而现在他则是翻来覆去的看这篇很短的发言,看了半天,感觉他好像啥都没有说。
其实在这个会议上,真正最具备含金量的在赵长安看来,是it研发报告里面提到的那句‘在193n浸没的情况下157n问题常见的普遍困难都不存在,几乎等同于现今处于干式介质中193n步进式光刻机效果。’
这句话里面暗含着一个重大的,如同窗户纸一样,却直到03年7月才开始被seatech(国半导体制造技术联盟,成员包括国防部、能源部、国家实验室、国家科学委员会、国家标准及技术院、it,得州大学,asl,——)捅破。
就是既然193n在浸没式液体之中既然依然是那么的稳定,为什么一定要使用难题很多的157n作为浸没式光源,为什么就不能依然用193n。
而现在所有人都这么认为,既然193n在干式介质就已经很稳定,为什么要脱了裤子放屁,要把它放在液态流体之中多此一举?
这里面唯一所欠缺的一个几乎这些技术人员都知道的常识要素,没有被他们考虑进去,就是液体和干式介质之间,不同的折射率。
实际上在赵长安的前一世,林博士在自传中说到,他在不久前的spie微光刻,发表了很具有重量级的发言。
“我在研讨会发表用水配合193纳米,能比干式的157纳米多增进一世代,而且比后者容易开发。结果全场轰动。我演讲后,所有交谈的时间大家都在讨论这个题目。”
实际上,似乎真的没有这个事实,因为他的发言人家留有录音,这个可真是做不得假。