更重要的是ny,pananic,aiwa这些企业在个人便携式音乐播放器市场,尤其是中高端市场,以及形成了世界性的垄断地位,手握着大量的技术专利实体工厂,以及多年以来持续性的方向研究和数以亿美元计数的投资资金。
假如选择进入p3市场,就等于一夜之间他们大量的工厂,数以万计的员工,以及积累了几十年的大量专利,几乎全部被清零。
这种等于壮士断腕的事情,基本上正常人都很难轻易的做到。
只有到了未来,随着p3制式在世界音乐播放器市场形成不可阻挡的趋势和洪流,这些老大帝国的企业才会不得不痛苦的在现实面前低头。
这种情况用在目前新一代光刻机的研发上面也是如此,现在世界光刻机巨头是nikon和canon,都依然在豪赌步进式光刻机。
而新进的造机新势力asl,更是在老美的牵头下,发誓要在新一代的光刻机领域,打破nikon和canon的技术和市场垄断,让欧美人也拥有世界最高科技前沿的光刻机企业。
目前nikon和canon,在157n深紫外激光波(duv)步进式光刻机的研发上面,已经投入了几十亿美元,虽然处于世界领先地位,不过157n的光会被现在所用的193n镜片吸收,穿透率低,无论是镜片还是光刻胶都需要重新的研发配适,同时氧气对157n光波吸收性很强,——这么一大堆的问题,都是目前世界上这几家(duv)步进式光刻机在研发下一代光刻里面遇到的难题需要客服。
而且即使能够实现良品率的量产,157n的duv也只能把解析度提高23,而对于之后的下一代光刻机,这似乎已经成了走到科技树极限的死胡同。
只不过因为前面天量的投资,使得nikon和canon明知道157n的duv很有可能已经做到了这一方向的制程极限,然而那句话‘超前一步是天才,超前几步是疯子’的箴言,他们显然都很信奉,却依然在拼命的豪赌。
原因很简单,只有这么做他们才能依然保持着行业垄断,同时收回前期投入的几十亿美元的资金。
这个情况就像现在的个人便携式音乐播放器市场,他们不是不明白新技术的优势和代表着产品的未来方向。
而是不愿意新技术现在就在市场上蚕食他们的份额,更不愿意一切重来的推倒炉灶。
而且即使在研发157n的duv光刻机的时候,这两家公司也在多电子束,离子流技术,甚至浸没式光刻技术光刻技术,等等研发领域悄悄的组建了研究机构,并且大量的提前申请布局专利壁垒。
就比如在三年前的99年3月16日,nikon公司就向专利局提交了浸没式光刻技术专利申请,专利名称是“projectionexposurethodandsyste”。该pct国际公开日是99年9月30日,国际公开号:wo99/49504。
可以说是相当的鸡贼。
包括和asl合作的麻省理工学院(it)林肯实验室,也在157nduv上努力的给asl助力。
不过他们研究的方向有别于nikon和canon在纯氮气中进行157n光波雕刻,而是选择了离子水(纯化水)状态下的157n浸没实验。
这个实验大致和nikon的浸没式光刻技术专利差不多,都是研究在纯净水状态下157nduv的雕刻性能。
就在几天前的全球spie微光刻会议上,it做出研发报告157n浸没实验的结果。
“在去离子水(纯化水)状态下的浸没实验,157nduv依然有着在纯氮环境下的诸多问题无法解决。然而对于193n的曝光是足够透明的,在193n浸没的情况下157n问题常见的普遍困难都不存在,几乎等同于现今处于干式介质中193n步进式光刻机效果。”
it的这份报告,让现场与会的全球微影领域的顶尖大拿们纷纷失望不已,也就是在这个报告出来了以后,这几天世界微光刻领域对浸没式光刻技术纷纷发表了类似于‘至少现今技术还不成熟’的观点。
这个观点,有着这些微光刻领域专家们的真实的想法,更有着nikon和canon为了能继续保持在这个领域的权威和垄断,以及已经砸进去几十亿美元的游说和新闻引导。
在这个会议上,林博士也参加了这场会议,会议的主持方要求他发言‘浸润式微影技术’。
“由于na已经大于09,并且随着na的进一步增加而回报递减,浸没式光刻可能是额外节点的关键。浸没式光刻的关键是具有在光学波长中具有足够的透射性,并且对透镜和抗蚀剂表面是惰性的。开始研究浸没流体是相对便宜的。一旦确定了流体,就必须解决许多问题;即,抗蚀剂的脱气,曝光或扫描过程中流体折射率的不均匀、流体的摩擦导致的扫描速